ICP是電感耦合等離子譜儀。根據檢測器的不同分為ICP-OES（電感耦合等離子發射光譜儀，也稱ICP-AES）和ICP-MS（電感耦合等離子質譜儀）。兩者均能檢測元素周期表中的絕大部分元素，但能測的元素稍微有異，檢測能力上後者要比前者高。因為ICP光源具有良好的原子化、激發和電離能力，所以它具有很好的檢出限。對於多數元素，其檢出限一般為0.1～100ug/L（ppb），可以同時測試多種元素，靈敏度高，檢測限低，測試范圍寬（低含量成分和高含量成分能夠同時測試）。

ICP-OES

ICP-OES其前身為ICP-AES（電感耦合等離子體原子發射譜儀），它基於物質在高頻電磁場所形成的高溫等離子體中有良好的特征譜線發射,再以半導體檢測器檢測這些光譜能量，參照同時測定的標準溶液計算出試液中待測元素的含量。ICP-OES測試的有效波長范圍是120-800 nm，因為原子發射光譜的所有相關信息都集中在這個范圍內。

一般情況下，ICP-OES測試的都是液體樣品，因此測試時需要將樣品溶解在特定的溶劑中（一般是稀酸溶液）；測試的樣品必須用0.45微米孔徑的水系濾膜過濾，否則試樣中的顆粒、懸濁物有可能堵塞內室接口或者通道；溶液樣品中不能含有對儀器有損壞的成分（如HF和強堿等）。

ICP-OES可同時分析常量和痕量組分，具有檢出限低、重現性好，分析元素多等顯著特點，ICP-OES大部份元素的檢出限為1～10ppb，個別元素也可得到亞ppb級的檢出限。ICP-OES的檢測元素如下圖：

ICP-MS

ICP-MS電感耦合等離子體質譜儀以質譜儀作為檢測器，通過將樣品轉化為運動的氣態離子並按質荷比（M/Z）大小進行分離並記錄其信息來分析。ICP-MS的進樣部分及等離子體和ICP-OES相似，但ICP-MS測量的是離子質譜，提供在3～250amu范圍內每一個原子質量單位（amu）的信息。還可進行同位素測定。

ICP-MS具有極低的檢出限，其溶液的檢出限大部份為ppt級(ng/L)，但由於ICP-MS的耐鹽量較差，ICP-MS的檢出限實際上會變差多達50倍，一些輕元素（如S、Ca、Fe、K、Se）在ICP-MS中有嚴重的幹擾，其實際檢出限也很差。ICP-MS的檢測元素和檢測限如下圖：

整體來說，ICP-OES和ICP-MS可分析的元素基本一致，不過由於分析檢測系統的差異，兩者的檢測限有差異：ICP-MS的檢測限很低，最好的可以達到ng/L（ppt）的水平；而ICP-OES一般是ug/L（ppb）的級別。不過ICP-MS隻能分析固體溶解量為0.2%左右的溶液（因此經常需要稀釋），而ICP-OES則可以分析固體溶解量超過20%的溶液。

最後附上ICP-OES和ICP-MS方法檢出限的比較：